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用于LCD光学窗口的多功能膜层
作者: 金扬利 ; 邱阳 ; 赵华 ; 祖成奎
关键词: ITO膜 离子辅助沉积 减反设计 拟合 方阻 ITO film ion-assistant deposition anti-reflective design fitting sheet resistance
摘要：
采用离子束辅助沉积方法进行膜层的制备;选用合适的色散模型,利用包络法和椭偏仪对制备薄膜的光学常数进行拟合;利用单纯形调优数值优化法对膜系进行优化.对制备的多功能膜层进行相关测试,结果表明：反射率平均低于0.8%,屏蔽层方阻为14Ω/□,膜层附着力和耐摩性能符合相关规定.所研制的多功能膜层,性能指标满足要求.
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