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溶胶-凝胶法制备Li-N共掺ZnO纳米薄膜及其性能表征
作者: 张建斌 ; 吕从燕 ; 于富成 ; 王雷
关键词: 溶胶-凝胶法 ZnO纳米薄膜 掺杂 sol-gel method ZnO nano-film doping
摘要：
采用溶胶-凝胶法在石英衬底上沉积Li-N共掺ZnO纳米薄膜,研究热处理温度和Li掺杂浓度对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明：适度的Li掺杂,以及随着热处理温度的适度升高,会导致ZnO（002）峰的半峰宽减小,薄膜结晶质量明显改善,但过高浓度的掺杂或过高的热处理温度,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.另外Li掺杂引起ZnO薄膜的光学带隙发生变化,从而使样品在未掺杂时以紫光发光最强而掺杂后样品以紫外发光最强.