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一种变面积型差动电容加速度传感器的设计
作者: 李恒灿 ; 李勇
关键词: 电容式加速度传感器 差动电容 结构设计 工艺流程 滑膜阻尼
摘要：介绍一种基于滑膜阻尼的差动电容加速度传感器.该加速度传感器利用圆柱形差分电容极板间重合面积的改变来检测加速度的大小,保证输出电压与加速度之间的线性度.对加速度传感器进行结构设计和分析,介绍加速度传感器的工艺流程.测试结果表明,该加速度传感器的灵敏度较好,谐振频率与理论计算相吻合.
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