多弧离子镀沉积Ti/TiN多层膜的力学和摩擦学性能

作者: 戴剑锋 [1] 史鑫 [2] 吴贵智 [3] 张广安 [3]

关键词: 多弧离子镀 Ti TiN多层膜耐磨性

摘要：采用多弧离子镀沉积了TiN单层薄膜和Ti/TiN多层膜,利用XRD、SEM对样品的物相结构和截面形貌进行表征,使用原子力显微镜、纳米硬度仪对其力学性能进行分析,同时采用摩擦试验机对其摩擦学性能进行了综合评价.结果表明:Ti/TiN多层膜组织结构致密,力学性能优良,相比于TiN单层薄膜,摩擦系数下降,磨损率降低了一个数量级,具有良好的减摩耐磨性.

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多弧离子镀沉积Ti/TiN多层膜的力学和摩擦学性能

作者: 戴剑锋 [1] 史鑫 [2] 吴贵智 [3] 张广安 [3]

关键词: 多弧离子镀 Ti TiN多层膜 耐磨性

关键词: 多弧离子镀 Ti TiN多层膜耐磨性