Na-N共掺对ZnO薄膜结构及光学性质的影响

作者: 于富成王雷吕从燕丁会云耿武何玲兰州理工大学材料科学与工程学院甘肃兰州730050

关键词: 溶胶凝胶法 ZNO薄膜掺杂

摘要：采用溶胶/凝胶法在石英衬底上制备Na-N共掺ZnO纳米薄膜,研究Na掺杂原子分数对ZnO薄膜结构和光学性能的影响.结果表明：适度的Na掺杂,使得薄膜结晶质量明显改善,但过高原子分数的掺杂,则会诱发新的缺陷,导致结晶质量下降.在可见光区域,薄膜透光率随Na掺杂原子分数的升高而升高,掺杂原子分数7.5%的薄膜透光率达到90%左右.Na掺杂原子分数对ZnO的光学带隙产生了直接的影响.

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Na-N共掺对ZnO薄膜结构及光学性质的影响

作者: 于富成 王雷 吕从燕 丁会云 耿武 何玲 兰州理工大学材料科学与工程学院 甘肃兰州730050

关键词: 溶胶 凝胶法 ZNO薄膜 掺杂

作者: 于富成王雷吕从燕丁会云耿武何玲兰州理工大学材料科学与工程学院甘肃兰州730050

关键词: 溶胶凝胶法 ZNO薄膜掺杂